详细介绍

>> 产品特点

   台式小型机,PLC人机自动控制,内部无电极,用于低污染及高洁净材料表面清洗、刻蚀、活化等工艺。

>> 技术参数    

 设备外形尺寸

    630(W)×650(D)×420(H)mm

 仓体结构(合金铝,约30升)  

    290(W)×290(H)×360(D)mm

 ◆ 放电电极(内置电容耦合电极)

    180(W) ×210(D) mm

 等离子发生器(韩国KM)

    频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配

    可选择40KHZ中频等离子发生器(0-300W)

 控制系统

    触摸屏(7寸)+PLC单步法全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,  并具有手动、自动两种模式

 ◆ 真空系统

    德国莱宝(Leybold)真空泵   D16C (20m3/h)

    SMC截止阀、充气阀,德国(Inficon)压力传感器

 ◆ 压力控制

    PID闭环自动稳压控制

 气路系统

    2路工艺气体配置,电子质量流量计、针阀,美国飞托克(FITOK)气体管路

>> 相关应用   

  - 光刻胶清洗 

  - 表面改性



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