详细介绍

>> 产品特点 

    立式大型机,触摸电脑+PLC多步流程全自动控制,全电路检测,用于LCD、PCB、LED、太阳能电池等产业大批量清洗,进口配置。
>> 技术参数
 ◆ 外形尺寸(不包括报警灯)
    1450(W)×1100(D)×1850(H)mm
 ◆ 仓体结构(不锈钢,约400升)
    600(W)×840(D)×800(H)mm
 ◆ 电极面积
    530(W)×700(D)mm ,15层
 ◆ 等离子发生器(美国MKS)
    频率13.56MHZ,功率0-5000W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作
 ◆ 控制系统
    触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
 ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)
    日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S) (前级泵可选配爱德华干泵)
    英国爱德华罗茨泵  EH500(140L/S)        
    台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管,德国英福康高精度真空计,传感器
 ◆ 充气系统
    美国AE高精度电子质量流量计(两路气体配制)、针阀
    美国世伟洛克气体管路及接口组件,德国双级减压阀
    日本SMC及CKD高真空气阀组件



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