等离子清洗设备的构造与运行过程

  根据用途的不同，可选用多种构造的等离子清洗设备，并可通过选用不用种类的气体，调整装置的基本结构大致是相同的，一般装置可由真空室、真空泵、高频电源、点击、气体导入系统、工作传送系统和控制系统等部分组成。通常使用的真空泵是旋转油泵，高频电源通常用13.56MHz的无线电波，设备的运行过程如下：
 （1）被清洗的工件送入真空室并加以固定，启动运行装置，开始排气，使真空室的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要2min。
 （2）在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿，并通过辉光放电而发生离子化和产生等离子体。让在真空室产生的等离子体完全笼罩在被处理工件，开始清洗作业。一般清洗处理持续几十秒到几分钟。
 （3）向真空室引入等离子清洗用的气体，并使其压力保持在100pa。根据清洗材质的不用，可分别选用氧气、氢气、或氮气等气体。
 （4）清洗完毕后切断高频电压，并将气体及汽化的污垢排出，同时向真空室内鼓入气体，并使气压升至一个大气压。