等离子蚀刻机(干刻)与等离子清洗机是一件事吗?

    一个是用来制作TFT器件的关键制程设备,一个是用来清除有机物的清洗设备。

    简单来说:蚀刻和清洗是两种不同工艺,通的工艺气体不同。等离子清洗机国产的非常多了,如果不是对均匀性和温度要求高的话,国产基本能满足。至于蚀刻机,老实说就算进口做的好的品牌也屈指可数。


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