等离子刻蚀机的活化作用

    1.预抽时压力值无显示或显示值很大,可能是:

    1)真空泵抽速不够,换泵油或清洗泵体;

    2)石英管有破损或没安装好;

    3)泵上压差式放气阀漏气,需拆开来清洗;

    4)预抽软管漏气,需更换;

    5)石英管上盖没盖好;

    6)上进气管破损,需更换。

    2.主抽时压力值有显示,但值偏高,可能是:

    1)真空泵抽速不够,换泵油或清洗泵体;

    2)压力传感器零点漂移,漂移较少可自行调整,过大需送厂家重新校准;

    3)反应室或气路漏气,需对真空管道和气路进行检漏;

    4)执行器模块坏了或过热保护使真空碟阀没动作;

    5)执行器与真空碟阀的连接轴松动,执行器有动作,而真空碟阀没有动作。

    3.送气时压力值偏小,达不到设定的要求,可能是:

    1)执行器模块坏了或过热保护使真空碟阀没动作;

    2)执行器与真空碟阀的连接轴松动,执行器有动作,而真空碟阀没有动作。

    4.主抽时压力真空度满足要求,送气时压力过大,达不到设定要求,可能是:

    1)送气时真空泵的抽速不够,换泵油或清洗泵体;

    2)质量流量计损坏,流量过大。

    5.送气时压力控制不稳定,可能是

    1)压力控制器PID参数不合适,重新调整PID参数;

    2)执行器开度太小,调整各工艺参数大小,使执行器开度在15~20之间控制较稳定。

    6.送气时压力稳定,但辉光时压力控制不住,上下波动,可能是:

    1)辉光时的射频干扰,需要重新调整地线的位置或线圈的接入点;

    2)检查各射频接头是否松动,接点是否接触很好。

    7.辉光时反应室不起辉,板压板流正常,反射功率大,调不下来,可能是:

    1)射频输出线接头有短路,拆开接头检查;

    2)反应室的射频接头连接线脱落。

    8.辉光时有板压但很小,板流很大,无辉光,可能是:

    1)RF电源功率调整板坏,需更换;

    2)FU100电子管有短路,需更换;

    3)RF电源前级推动板坏,需厂家维修;

    4)在RF输出线路上有电容短路,需更换。

    9.辉光时有板压,但很大,没板流,不起辉,可能是:

    1)RF电源的功率调整板坏,需更换; 

    2)射频功率输出电缆短路。 

    10.辉光时调节功率调节旋钮不起作用,没有板压,也没有板流,可能是:

    1)FU100电子管损坏,需更换;

    2)环形变压器损坏,需更换;

    3)功率调整板损坏,需更换。

    11.辉光时亮度很暗,而且反应室上部亮而下部暗或不亮,匹配难调节,可能是:

    1)压力传感器零点漂移,显示的压力值不是正确的;

    2)射频输入线圈的接入点位置需要调整。


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