等离子刻蚀机的活化作用

    1.预抽时压力值无显示或显示值很大，可能是:

    1）真空泵抽速不够，换泵油或清洗泵体；

    2）石英管有破损或没安装好；

    3）泵上压差式放气阀漏气，需拆开来清洗；

    4）预抽软管漏气，需更换；

    5）石英管上盖没盖好；

    6）上进气管破损，需更换。

    2.主抽时压力值有显示，但值偏高，可能是:

    1）真空泵抽速不够，换泵油或清洗泵体；

    2）压力传感器零点漂移，漂移较少可自行调整，过大需送厂家重新校准；

    3）反应室或气路漏气，需对真空管道和气路进行检漏；

    4）执行器模块坏了或过热保护使真空碟阀没动作；

    5）执行器与真空碟阀的连接轴松动，执行器有动作，而真空碟阀没有动作。

    3.送气时压力值偏小，达不到设定的要求，可能是:

    1）执行器模块坏了或过热保护使真空碟阀没动作；

    2）执行器与真空碟阀的连接轴松动，执行器有动作，而真空碟阀没有动作。

    4.主抽时压力真空度满足要求，送气时压力过大，达不到设定要求，可能是:

    1）送气时真空泵的抽速不够，换泵油或清洗泵体；

    2）质量流量计损坏，流量过大。

    5.送气时压力控制不稳定，可能是

    1）压力控制器PID参数不合适，重新调整PID参数；

    2）执行器开度太小，调整各工艺参数大小，使执行器开度在15~20之间控制较稳定。

    6.送气时压力稳定，但辉光时压力控制不住，上下波动，可能是:

    1）辉光时的射频干扰，需要重新调整地线的位置或线圈的接入点；

    2）检查各射频接头是否松动，接点是否接触很好。

    7.辉光时反应室不起辉，板压板流正常，反射功率大，调不下来，可能是:

    1）射频输出线接头有短路，拆开接头检查；

    2）反应室的射频接头连接线脱落。

    8.辉光时有板压但很小，板流很大，无辉光，可能是:

    1）RF电源功率调整板坏，需更换；

    2）FU100电子管有短路，需更换；

    3）RF电源前级推动板坏，需厂家维修；

    4）在RF输出线路上有电容短路，需更换。

    9.辉光时有板压，但很大，没板流，不起辉，可能是:

    1）RF电源的功率调整板坏，需更换； 

    2）射频功率输出电缆短路。 

    10.辉光时调节功率调节旋钮不起作用，没有板压，也没有板流，可能是:

    1）FU100电子管损坏，需更换；

    2）环形变压器损坏，需更换；

    3）功率调整板损坏，需更换。

    11.辉光时亮度很暗，而且反应室上部亮而下部暗或不亮，匹配难调节，可能是:

    1）压力传感器零点漂移，显示的压力值不是正确的；

    2）射频输入线圈的接入点位置需要调整。