浅谈关于等离子处理的原理

    等离子体(Plasma)又称物质第四态,区别于物质常见的固、液、气三种存在形态。它是一种具有一定颜色的准中性电子流,是正离子和电子的密度大致相等的电离气体。
    在等离子状态下脱离原子束缚的电子和原子,中性原子,分子和离子做无序运动,具有很高的能量,但整体显中性。
    高真空室内部的气体分子被电能激化,被加速的电子互相碰撞使原子、分子的最外层电子被激化脱离轨道,生成离子或反应性比较高的自由基。
    这样生成的离子、自由基继续相互碰撞和被电场加速,并与材料表面相互冲撞,破坏数微米深度的分子间原有的结合方式,削去孔内一定深度的表面物质形成微细凹凸,同时产生的气体成分成为反应性官能基(或官能团),它们诱导物质表面发生物理、化学变化,因此能够除去钻污从而能够提高镀铜的结合力。
    在等离子体化学反应中,起到化学作用的粒子主要是正离子及自由基粒子。自由基在化学反应过程中能量传递的“活化”作用,处于激发状态的自由基具有较高的能量,易于与物体表面分子结合时会形成新的自由基。
    新形成的自由基同样处于不稳定的高能量状态,很可能发生分解反应,在变成较小分子同时生成新的自由基,这种反应过程还可能继续进行下去,最后分解成水、二氧化碳之类的简单分子。
    在另一些情况下,自由基与物体表面分子结合的同时,会释放出大量的结合能,这种能量又成为引发新的表面反应推动力,从而引发物体表面上的物质发生化学反应而被去除。

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