低温等离子体清洗技术在表面改性中的应用进展

    形成装置及影响因素
    选择适宜的放电方式可获得不同性质和应用特点的等离子体,通常,热等离子体是气体在大气压下电晕放电产生,冷等离子体由低压气体辉光放电形成｡
    热离子体装置是利用带电体尖端(如刀状或针状尖端和狭缝式电极)造成不均匀电场,称电晕放电,使用电压和频率､电极间距､处理温度和时间对电晕处理效果都有影响｡电压升高､电源频率增大,则处理强度大,处理效果好｡但电源频率过高或电极间隙太宽,会引起电极间过多的离子碰撞,造成不必要的能量损耗;而电极间距太小,会有感应损失,也有能量损耗｡处理温度较高时,表面特性的变化较快｡处理时间延长,极性基团会增多;但时间过长,表面则可能产生分解物,形成新的弱界面层｡
    冷等离子体装置是在密封容器中设置两个电极形成电场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体愈来愈稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长,受电场作用,它们发生碰撞而形成等离子体,这时会发出辉光,故称为辉光放电处理｡辉光放电时的气压大小对材料处理效果有很大影响,另外与放电功率,气体成分及流动速度､材料类型等因素有关｡
    不同的放电方式､工作物质状态及上述影响等离子体产生的因素,相互组合可形成各种低温等离子体处理设备｡