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等离子去胶机在工作时的表现
等离子去胶机工作效率很高,性能比较优越,使用起来也很方便,价格也不高,那么等离子去胶机在工作时表现如何呢?下面就让小编来为大家讲解下等离子去胶机在工作时的表现。
首先在等离子去胶机中首要起到去胶效果的气体为氧气,在进行去胶操作时,只需要将硅片放置到真空反响体系中,通入少数氧气,并加上1500伏特的高压,再由高频信号发作器宣布高频信号,使得石英管内构成一个强电磁场,使氧气发作电离之后构成阳离子以及活化的阳原子和氧分子以及电子的混合物等离子体的辉光柱。其间的生动氧原子能够敏捷的将聚酰亚胺膜进行氧化,并生成可挥发性气体,并被机械泵出走,这样就能够将硅片上的聚酰亚胺膜清除了。
上述就是小编为大家讲解的等离子去胶机在工作时的表现。如有疑问,可以来电查询。
首先在等离子去胶机中首要起到去胶效果的气体为氧气,在进行去胶操作时,只需要将硅片放置到真空反响体系中,通入少数氧气,并加上1500伏特的高压,再由高频信号发作器宣布高频信号,使得石英管内构成一个强电磁场,使氧气发作电离之后构成阳离子以及活化的阳原子和氧分子以及电子的混合物等离子体的辉光柱。其间的生动氧原子能够敏捷的将聚酰亚胺膜进行氧化,并生成可挥发性气体,并被机械泵出走,这样就能够将硅片上的聚酰亚胺膜清除了。
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